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真空镀膜设备

2021-07-21

真空镀膜设备广泛应用于节能建筑玻璃太阳能电池板动力电池等,工况以高温、超高真空、重粉尘污染。对轴承突出的性能要求是耐高温、高真空、防尘。郑升轴承通过优化材料和设计,针对特殊应用环境的真空镀膜设备,我们开发了专用真空镀膜轴承系列,为外客户提供各耐高温超高真空轴承的技术解决方案。

应用部位:太阳能电池生产线CVD设备PVD设备,玻璃真空磁控溅射镀膜设备

行业痛点解决方案

高温:按照工况特点使用耐高温钢材,纳米陶瓷等新型耐高温材料;

超高真空:采用德国进口劳勃抗的高真空油脂;

防尘:优化密封和密封槽的结构设计,减轻溅射物污染。